在半導體產業中，極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題，它會降低產量並增加生產商的時間和金錢。因此，檢查半導體晶圓表面是否有缺陷和污染至關重要，這是半導體行業中許多客戶面臨的挑戰。

晶圓表面檢測的一種更快且經濟高效的方法是使用雷射線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷，通常在 ...